GVC-3000T高真空热蒸发镀碳仪


高真空热蒸发镀碳仪全自主支持产权,效率更高、颗粒更细,膜厚更均匀。适用于EDS样品制备;EBSD样品制备;MLA系统样品制备;其它需要制备碳膜的领域。

描述

全自主支持产权

效率更高、颗粒更细,膜厚更均匀

应用领域:

1、EDS样品制备

2、EBSD样品制备

3、MLA系统样品制备

4、其它需要制备碳膜的领域

技术参数:

人机界面 7英寸TFT彩色液晶触摸屏
蒸发源 高纯碳纤维(选配碳棒)
蒸发源数量 1-4根(更多请咨询厂家)
工作模式 连续、脉冲
操作方式 全自动一键操作
真空系统 涡轮分子泵+旋片泵
极限真空 ≤5E-3Pa
工作真空

<0.1Pa

抽气节拍 <3分钟
真空室 ~φ170×130mm
其它 样品台旋转、样品温度检测、蒸发除气等
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